超纯水制造历史进程：
阶段：预处理过滤器——>阳床——>阴床——>混合床
第二阶段：预处理过滤器——>反渗透——>混合床
目前阶段：预处理过滤器——>反渗透——>EDI（无需酸碱再生）
近几十年以来，混床离子交换技术（D）一直作为超纯水制备的标准工艺。由于其需要周期性的再生且再生过程中消耗大量的化学药品（酸碱）和工业纯水，并造成一定的环境问题，因此需要开发无酸碱超纯水系统。
正因为传统的离子交换已经越来越无法满足现代工业和环保的需求，于是将膜、树脂和电化学原理相结合的EDI技术成为水处理技术的一场。其离子交换树脂的的再生使用的是电能，而不再需要酸碱，因而更满足于当今世界的环保要求。这一新技术可以代替传统的离子交换（DI）装置，生产出电阻率高达18.25MΩ.cm的超纯水设备。
自从1986年EDI膜堆技术工业化以来，全世界已安装了数万套EDI系统，尤其在制药、半导体、电力和表面清洗等工业中得到了大力的发展，同时在废水处理、饮料及微生物等领域也得到广泛使用。
EDI设备是应用在反渗透系统之后，取代传统的混床离子交换技术（MB-DI）生产稳定的超纯水。EDI技术与混合离子交换技术相比有如下优点:
◆ 具有更高的产水质量，可达18.25MΩ*cm超纯水标准。
◆ 脱盐率高，出水质更稳定，
◆ 水利用率高出，达95%
◆ 树脂无需酸碱再生，无污水排放，更环保。
◆ 运行、操作、维护方便，全程自动化。
◆ 标准设计、视产水要求可将模块不断堆积，以适应更大产水量的要求
◆ 流量范围从1m3/h到450m3/h以上
◆ 运行成本低、能耗少，每产水3.8m3/h，耗电1KW
反渗透超纯水设备典型工艺流程为：
1: 预处理－反渗透－纯化水箱－离子交换器－紫外灯-纯水泵－用水点
2: 预处理－一级反渗透－二级反渗透（正电荷反渗膜）－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
3: 预处理－反渗透－中间水箱－中间水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵-紫外灯－用水点
水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级）
